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常见的真空腔体加工的检漏方法

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           由分析器、离子源亚博vip2020、分析器、冷阴极电离规亚博vip2020、收集器组成的质谱室和抽气系统及电气等部分组成。质谱室里的灯丝发射出来的电子,在室内来回地振荡,并与室内气体和经漏孔进人室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子亚博vip2020,这些氦离子在加速电场作用下进入磁场,在洛伦兹力的作用下偏转,进而形成了圆弧形轨道亚博vip2020亚博vip2020,改变加速电压可使不同离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测到。其中呢,喷氦法和吸氦法是氦质谱检漏常用的两种方法。
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2020/10/24 10:39:20 95 次

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